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東方馬達伺服馬達 NX系列
產品型號:
產品特色
FEATURE
無須增益調整
自動增益調整時,最高可運轉至轉子慣性的50 倍。此外,手動增益調整時,最高可運轉至轉子慣性的100 倍。
操作簡單
可透過前方面板上的開關和旋鈕,進行各種基本設定及調整。使用時,可省去麻煩的UP/DOWN按鍵操作和電腦等的操作。
對應半導體製造設備規格「SEMI F47」
對應SEMI規格中對電源電壓降低的規格。
在半導體製造裝置中使用時相當有效。 (務必請進行實機裝置的評估。)