產品特色

產品特色

FEATURE

 

無須增益調整

自動增益調整時,最高可運轉至轉子慣性的50 倍。此外,手動增益調整時,最高可運轉至轉子慣性的100 倍。

 

操作簡單

可透過前方面板上的開關和旋鈕,進行各種基本設定及調整。使用時,可省去麻煩的UPDOWN按鍵操作和電腦等的操作。

 

對應半導體製造設備規格「SEMI F47

對應SEMI規格中對電源電壓降低的規格。

在半導體製造裝置中使用時相當有效。 (務必請進行實機裝置的評估。)